“做無差錯能手，向零缺陷邁進”“工藝巧于微末之處，精品出于毫厘之間”。
走進北京中科科儀股份有限公司（以下簡稱中科科儀），類似的標語不斷出現在樓梯臺階上、走廊轉角處、車間操作區里，這些都是員工們集思廣益想出來的標語。在這里，工匠精神不只是口號，而是大家的行動準則。
多年來，他們深耕真空技術，憑借著自主研發的分子泵系列產品，成長為國家級制造業單項冠軍示范企業，打破國外產品壟斷。近日，該團隊榮獲中國科學院第六屆科苑名匠稱號。
中科科儀重大裝備核心零部件產業化團隊 受訪者供圖
“必須要把核心技術掌握在自己手里?！?/strong>
雖然我們日常生活中不會直接接觸到真空，但從食品保鮮、手機鍍膜再到半導體精密制造、航天儀器檢測，卻處處離不開真空。尤其是在半導體與集成電路制造產業，在芯片制造的刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝中，真空環境和潔凈度直接決定了芯片的良率和性能。
分子泵是獲得真空環境的通用儀器，它利用高速旋轉的轉子使氣體分子獲得定向速度，從而被壓縮、抽走，可將空間內空氣密度降低到10??Pa。不過，傳統分子泵技術多采用機械結構，普遍存在轉速較低、磨損、振動、噪聲大等缺點。更先進的磁懸浮分子泵則通過無接觸支撐轉子，各方面性能大幅提高，是芯片制造的必備利器。
然而，起源于西方的磁懸浮分子泵，其核心技術自然也被西方壟斷。中科科儀黨委委員、總經理助理王利偉告訴《中國科學報》，20世紀初，引進一臺磁懸浮分子泵的費用高達40萬元，在軍工等關鍵領域，國外甚至明確拒絕向中國出售，技術壁壘之高，可見一斑。
為打破國外壟斷，作為科技“國家隊”的一員，中科科儀早在2004年就開始探討與籌備磁懸浮分子泵的自主研發。但磁懸浮分子泵的運行原理與傳統機械式完全不同，它很大程度上依賴傳感器和電控系統，將轉子穩定地“懸”于中心。這對團隊而言，是一個前所未有的挑戰。
直到2009年，為提高集成電路產業核心競爭力，國家重大科技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”全面實施。中科科儀承擔了其中的“磁浮分子泵系列產品開發與產業化”項目，在國家支持下，磁懸浮分子泵的研發終于得以從構想走向實踐。
由于受到嚴格的技術封鎖，中科科儀的研發人員只能從國外文獻、發明專利、宣傳資料等文字資料中摸索方向，一點一滴規劃屬于自己的技術路徑。
最初樣機問世時，連基本功能都難以穩定運行，參數調試、性能優化幾乎從零開始?！斑B識別指示燈都亮不起來?！毖邪l中心總體設計工程師李兵回憶道。為了解決傳感器精度問題，讓設備能識別微米級位移，那段時間他們“日日想，日日趕”，只為了“一個數據的突破”。
就在中科科儀團隊卯足全力研發攻關時，國外企業也關注到了中國的進展，并悄然施壓。2009年正式投入研發時，曾經高不可攀的進口產品價格驟降到約20萬元；到2011年首臺國產磁懸浮分子泵產品亮相國家“十一五”重大科技成果展時，進口產品已降價至約10萬元……
回憶那3年的變化，李兵坦言中途差點放棄。“國外產品降價，意味著我們的產品進入市場時已無利潤空間，還要不要繼續研發？”
是被打趴下，還是咬緊牙關扛過去？
“我們最終還是下定決心，必須要把核心技術掌握在自己手里?！彼f，“我們必須建立自己的全鏈產業”。最終，研發團隊通過不斷地技術升級，推出了具有市場競爭力的產品，成功打破國外壟斷。
如今回頭來看，國產磁懸浮分子泵的攻關進程，正巧與中國半導體產業的整體提速同頻共振，助力了我國半導體產業高質量發展。目前，國產工業級產品已穩定在幾萬元，僅為當年最高價的十分之一。
工匠精神代代傳
中科科儀的前身是成立于1958年的中國科學院科學儀器廠，60多年來，他們一直奉行“嚴師出高徒”的人才培養模式。
中科科儀的員工在操作儀器。受訪者供圖
在李兵心中，自己的師父鄒蒙不僅是帶領大家拿下磁懸浮分子泵研發的開創者，更是一位要求嚴格的導師。他回憶道，清華大學畢業的鄒蒙保持了嚴謹的實驗習慣?！八膶嶒炇指宀粌H記錄詳盡，而且條理清晰。哪怕過很多年后再翻出來看，也能完全還原當時的實驗過程?！?span style="display:none">XL9速刷資訊——每天刷點最新資訊，了解這個世界多一點SUSHUAPOS.COM
2024年退休后，鄒蒙仍難改幾十年的慣性，十分關心項目攻關。就在不久前，兩人還坐在一起，暢聊新產品的調試進展。在李兵看來，師父留給自己最重要的精神財富就是永葆創新精神。
2014年前后，中科科儀在國內率先提出將特殊材料應用于磁懸浮分子泵的構想。為了驗證最優方案，團隊先后嘗試了五六種替代材料，但無論在強度、重量還是穩定性方面，始終無法滿足要求。最終成功使用最優特殊材料，有效降低了轉子重量，整體強度達到早期產品的3倍。
“工匠精神不單單是簡單地重復試驗、機械操作，尤其是在科技快速發展的今天，必須持續學習、不斷創新，才能真正把一件事做到極致?！崩畋f。
十年前，在高端半導體設備市場中，尤其是在分子泵這類關鍵核心環節，國內幾乎完全依賴進口。為了不再被“卡脖子”，讓磁懸浮分子泵更好地適應半導體制造過程中復雜多變的工藝環境，中科科儀團隊對泵體內部結構進行了精細化設計，并增加了加熱系統，以防止反應物在腔體內快速沉積和腐蝕，從而保障整個真空系統的潔凈度與運行效率。
十余年的堅持，換來了厚積薄發的突破。2022年，中科科儀的半導體專用磁懸浮分子泵實現產業化落地，成功打破國外壟斷，迅速滿足了刻蝕、離子注入等工藝的核心需求。
在團隊成員伏世帥看來，工匠精神不僅依賴于系統的培訓，更是一種“心法”的傳承。
伏世帥研究生畢業后進入中科科儀，師父一句“不懂產品，咋做技術？”就把他安排到全流程中最枯燥、最考驗耐心的調平衡工藝環節。
由于分子泵轉子的轉速高達每分鐘幾萬轉，哪怕是一微米的偏差，也可能導致整體結構在高速運轉中失效。調平衡的核心在于通過配重調整轉子的平衡精度，這項工作目前還無法完全依賴機器完成，必須依靠操作者豐富的經驗和敏銳的手感。即便是最熟練的老師傅，也得有十足的耐心。
就這樣在車間調了半年，伏世帥才真正摸到了門道，達到精通的水平。雖然目前已經離開技術部門，但伏世帥依然很感謝當初師父對自己的鍛煉。
正是有這樣的磨煉，中科科儀的員工才能屢次在中國科學院職工技能大賽中獲獎。
“90后”年輕人董博文雖然剛進入公司第三年，也深刻感受到“精益求精”的工匠精神。
他總結道：“在執行任務時，不只去簡單地完成指令，而是要主動思考每件事到底要做到什么程度？精度要達到什么樣的標準？不僅滿足于‘合格’，更應該追求‘更好’?！?span style="display:none">XL9速刷資訊——每天刷點最新資訊，了解這個世界多一點SUSHUAPOS.COM
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