國家重大科研儀器研制項目“半導體器件氧化層電缺陷演化原位分析系統”結題驗收會召開
2025年6月21日，自然科學基金委信息科學部在北京召開國家重大科研儀器研制項目（部門推薦）“半導體器件氧化層電缺陷演化原位分析系統”結題驗收會議。自然科學基金委黨組成員、副主任陸建華，自然科學基金委信息科學部主任郝躍、計劃與政策局副局長楊列勛，教育部科學技術與信息化司一級巡視員張國輝，北京大學副校長樸世龍出席會議。信息科學部常務副主任劉克主持開幕式，專家組組長、南京大學祝世寧教授主持驗收會議，北京科技大學張躍教授、東北師范大學劉益春教授等作為驗收專家參加會議。
陸建華副主任在致辭中表示，國家重大科研儀器研制項目面向世界科學前沿和國家重大需求，鼓勵和培育原創性重大科研儀器設備研制，為科學研究提供新穎工具，帶動學科發展，提升我國科學研究的原始創新能力。儀器項目的最終成果應該是一臺完整的新儀器，不能停留在部件或分立系統的階段。希望專家組在驗收過程中，對項目成果的“增量”“變量”和“份量”進行客觀評價，從儀器設備核心指標的完成情況、經費使用及檔案資料的規范性方面嚴格把關，高質量完成驗收工作。最后，他勉勵研究團隊以項目結題為新的起點，致力儀器的轉化應用。
張國輝巡視員表示，科研儀器是科技創新的“眼”和“手”，是衡量國家技術實力的重要標志。項目團隊歷經5年艱苦攻關，研制出了新的測量儀器。希望驗收專家提出寶貴的意見和建議，助力項目團隊以及北京大學更好地建設與運用重大科研儀器，為我國集成電路事業的發展貢獻力量。
樸世龍副校長表示，北京大學始終高度重視重大科研儀器研制工作，努力發揮基礎學科和有組織科研的優勢，積極研制原創性科研儀器與核心部件，學校將不斷推動科研儀器的開放共享，攜手開展高水平科研攻關，努力培育更多世界領先的科技創新成果。
驗收專家認真聽取了北京大學黃如教授和王潤聲教授關于項目完成情況的匯報、項目監理組的監理報告，以及各驗收組的技術測試、檔案審查和經費核查說明，現場考察了儀器技術指標和運行狀況，詳細審閱了相關財務與檔案材料，經質詢和討論，形成了技術測試、財務驗收和檔案審查報告，并對下一步工作提出了建設性意見。
教育部科學技術與信息化司有關同志，項目研發、監理及技術指導專家，項目依托單位和自然科學基金委相關工作人員參加會議。
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